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采用色譜原理搭配多種高性能檢測(cè)器，監(jiān)測(cè)高純氣及超純氣中的微（痕）量雜質(zhì)。分析儀本體防爆，采用多柱箱多流路并行設(shè)計(jì)，功能模塊化，可實(shí)現(xiàn)各種復(fù)雜的應(yīng)用。分析儀管路全惰性化及獨(dú)特的防反滲技術(shù)，提高檢測(cè)精度及重復(fù)性，檢出限可達(dá)到ppb級(jí)。